CVD ränikarbiidi (SiC) kate

CVD SiC-kate on põhimõtteliselt grafiidile sadestatud ränikarbiidikiht ja seda kasutatakse laialdaselt epitaksiatööriistades, kus nii temperatuur kui ka puhtus on olulised. Tegelikes tootmisliinides näeb seda sageli AIXTRONi, ASM/LPE, Veeco ja mõnede AMAT-iga seotud platvormide süsteemides. Selle kasulikuks teeb lisaks temperatuurile vastupidavusele ka üldine stabiilsus pikkade töötsüklite ajal. Tüüpilistes epitaksiatingimustes – vesinik, ammoniaak või isegi klooritud gaasid – püsib kate suhteliselt stabiilsena ja kaitseb selle all olevat grafiiti. See aitab hoida termilist välja ühtlasemana ja vähendab osakeste ilmnemise võimalust kasvu ajal.

Enamasti kantakse kate sellistele osadele nagu sustseptorid, vahvlikandurid, grafiitrõngad või poolkuu komponendid. Need kõik on otseselt seotud vahvli kuumutamise või positsioneerimisega, seega võib iga väike ebastabiilsus mõjutada saagikust. Sel põhjusel käsitletakse kaetud osi sageli kulumaterjalidena, mis peavad siiski olema töökindlad mitme tsükli jooksul, eriti 4–12-tollise tootmise puhul.