SiC keraamika

SiC-keraamikat kasutatakse pooljuhtide seadmetes üha enam, peamiselt seetõttu, et see peab paremini vastu raskemates tingimustes. Kui temperatuur tõuseb või protsess muutub agressiivsemaks, võivad sellised materjalid nagu kvarts või räni hakata piire näitama ja just seal tulebki mängu SiC. Ahjuprotsessides, näiteks oksüdeerimise või difusiooni korral, kipuvad SiC-st valmistatud osad, näiteks vahvlipaadid või labad, kauem vastu pidama. Need säilitavad oma kuju ega too kaasa palju saastumist isegi pärast pikki tööperioode. Inimesed vahetavad sageli just sel põhjusel kvartsist välja, eriti kui hooldus muutub liiga sagedaseks.

Söövitamiseks valitakse ränikarbiid (SiC) sageli lihtsalt seetõttu, et see peab plasmas kauem vastu. Eluea erinevus võrreldes ränidetailidega on paljudes seadmetes märgatav, kuigi see sõltub siiski täpsest protsessist. See aitab ka natuke osakeste kontrollimisel, mis muutub sõlmede kahanedes tundlikumaks. Samuti näete ränikarbiidi (SiC) kasutamist sustseptoritena MOCVD või CVD tehnikas. Nendel juhtudel on vähem oluline "tugevus" ja rohkem temperatuuri käitumise stabiilsena hoidmine. Lisaks sellele ilmneb see kambri osades, nagu vooderdised või dušipead, ja mõnikord ka käsitsemiskomponentides.