Kvartsi osad

Kvartsi kasutatakse pooljuhtide töötlemisel endiselt kõikjal. See pole uus materjal, kuid on usaldusväärne ja enamik tootjaid tunneb selle käitumist. Kui puhtust kontrollitakse, toimib see hästi difusiooni-, oksüdeerimis- ja puhastamisetappides.

Paljud kvartsist detailid lähevad ahjusüsteemidesse või PECVD-tööriistadesse. Peamine ootus on stabiilsus – mitte tingimata pikk eluiga, vaid prognoositav jõudlus. Tavaliselt on see paljude standardprotsesside jaoks piisav.

Muidugi on kvartsil omad piirid. Teatud tingimustes võib see kiiremini kuluda, eriti võrreldes ränikarbiidiga (SiC). Kuna seda on aga suhteliselt lihtne hankida ja see pole liiga kallis, kasutavad inimesed seda siiski üsna palju.