Kvartsist varjurõngas 200mm

AMAT 0200-10445 kvartsist varjestusrõngas (200 mm) on spetsiaalselt plasma söövitussüsteemide jaoks loodud kõrge puhtusastmega kvartsist servade juhtimise komponent. See kuulub varjestusrõngaste kategooriasse, mis on pooljuhtide töötlemise ajal kiipide servade plasma interaktsiooni juhtimiseks kriitilise tähtsusega.

See ülikõrge puhtusastmega sulatatud kvartsist valmistatud komponent on loodud töötama äärmuslikes protsessitingimustes, sealhulgas:

● Kõrge energiaga plasmakeskkonnad

● Reaktiivsed fluori- ja klooripõhised kemikaalid

● Korduv termiline tsükkel

Erinevalt tavalistest kaitsekomponentidest on varjurõngas protsessikriitiline osa, mis mõjutab otseselt söövitusprofiili, ühtlust ja kriitiliste mõõtmete (CD) juhtimist.

Semixlab Technology kvartsist varjurõngad valmistatakse järgmiste protsesside abil:

● Range tooraine valik madala saastumise tagamiseks

● Ülitäpne töötlemine geomeetrilise järjepidevuse tagamiseks

● Optimeeritud pinnatöötlus osakeste tekkimise minimeerimiseks

See tagab stabiilse ja korduva jõudluse täiustatud söövitusprotsessides.

Levinud rikkerežiimid

Karmide plasmakeskkondadega kokkupuutuvate tarbekaupadena lagunevad kvartsist varjurõngad järgmiste mehhanismide tõttu:

1. Plasma poolt indutseeritud erosioon

● Pidev ioonpommitamine põhjustab pinna karedust

● Järkjärguline materjali kadu muudab kriitilisi geomeetriaid

Mõju:

Serva juhtimise jõudluse halvenemine, mille tulemuseks on kriitiliste mõõtmete (CD) hälbed ja profiili ebastabiilsus.

2. Polümeeri ja kõrvalsaaduste sadestumine

● Protsessi kõrvalsaadused kogunevad kvartsi pinnale

● Töötamise ajal võivad setted maha kooruda

Mõju:

Suurem osakeste saastumine ja defektide tihedus vahvlitel.

3. Termiline pingepragunemine

● Korduvad kuumenemis- ja jahutustsüklid tekitavad sisemisi pingeid

● Mikropraod võivad levida, põhjustades konstruktsiooni purunemise

Mõju:

Ootamatu rike ja seadmete seisakud.

4. Osakeste teke materjali vananemise tõttu

● Pikaajaline plasmakontsentratsioon kahjustab kvartsi terviklikkust

● Mikropraod vabastavad osakesi kambrisse

Mõju:

Vähenenud saagikus ja seadme töökindluse vähenemine.

Miks valida Semixlab?

Omades sügavaid teadmisi pooljuhtmaterjalide ja protsessikomponentide alal, pakub Semixlab Technology kõrgjõudlusega varuosi, mis vastavad OEM-standarditele või ületavad neid:

● Ülikõrge puhtusastmega kvarts saastumise suhtes tundlike protsesside jaoks

● Täppisprojekteeritud geomeetria täpse servakontrolli tagamiseks

● Pikem kasutusiga ja väiksemad omamiskulud

● OEM-ühilduvad disainid, mis integreeruvad sujuvalt AMAT platvormidega

Meie kvartsist varjurõngad on pooljuhtide tootjate usalduse objekt, toetades tootjaid, kes otsivad usaldusväärseid, kulutõhusaid ja suure jõudlusega alternatiive plasma söövitusrakenduste jaoks.

Seadmete asukoht ja funktsioonid

Paigalduskoht

Kvartsist varjurõngad paigaldatakse tavaliselt:

● Kiibi serva piirkonnas

● Elektrostaatilise padruni (ESC) kohal või lähedal

● Söövituskambri plasmakesta piirkonnas

See töötab koos teiste servakomponentidega (näiteks teravustamisrõngad ja katterõngad), moodustades tervikliku servajuhtimissüsteemi.

Põhifunktsioonid

1. Plasma varjestus ja ioonide jaotuse kontroll

Varjestusrõnga peamine ülesanne on luua „varjestusefekt”:

● Plasmaga kokkupuute selektiivne blokeerimine või moduleerimine vahvli serval

● Ioonide langemisnurkade ja ioonide jaotuse reguleerimine

Tulemused:

Täiustatud söövitusprofiili kontroll, sh külgseinte nurgad ja omaduste täpsus.

2. Servade ühtluse optimeerimine

Tänu täpselt konstrueeritud geomeetriale (kõrgus, vahe ja profiil) saab varjurõngas:

● Vähendage servade üleliigset söövitamist ja mikrokoormuse mõjusid

● Parandage söövituskiiruse ühtlust kogu vahvli ulatuses

Mõju:

Parandab kriitilise mõõtme (CD) järjepidevust ja suurendab kiibi serva saagikust.

3. Protsessi stabiilsus ja korduvus

See komponent stabiliseerib plasma käitumist servapiirkonnas järgmiselt:

● Plasmaümbrise ühtlaste tingimuste säilitamine

● Vähendage protsessi triivi pikemate tootmistsüklite ajal

Eelised:

Parandab protsessiakna stabiilsust ja korduvust suuremahulises tootmises.

4. Saastumise ja kõrvalsaaduste kontroll

Varjurõngas aitab ka:

● Piira soovimatute ladestumisalade

● Polümeeride ja kõrvalsaaduste jaotuse kontrollimine

See vähendab osakeste ohtu ja aitab kaasa puhtamale kambri tööle.