EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Pooljuhtkvartsist vahvelpaat
Kiire täpsus:
1. Muud nimetused: pooljuhtide kvartspaak, kvartsvann pooljuhtide jaoks, kvartspaak pooljuhtide jaoks.
2. Kasutamine: pooljuhtkvartsist vahvelpaat pooljuhtide tootmisel kõrgel temperatuuril toimuvate protsesside, näiteks difusiooni, oksüdeerimise, CVD, lõõmutamise jne jaoks.
3. Põhiparameetrid:
Ülikõrge puhtusastmega kvarts (>99.99% SiO₂): väldib metalliioonidega (Na+, K+, Fe³+ jne) saastumist ja vastab täiustatud protsesside puhtusnõuetele (<5nm sõlmed).
Kõrge temperatuurikindlus: pidev töötemperatuur 1200 ℃, hetkeline temperatuurikindlus 1300 ℃.
Keemiliselt inertne: vastupidav protsessigaasidele nagu HCl, H₂, O₂, SiH₄ ja happelisele/aluselisele keskkonnale. Mittekorrodeeriv pikaajaliseks kasutamiseks.
Kirjeldus
Semixlab Semiconductor kvartsist valmistatud kiibilaevad on võtmetähtsusega laagritööriistad, mis on loodud pooljuhtide tootmises kõrgel temperatuuril toimuvate protsesside, näiteks difusiooni, oksüdeerimise, CVD, lõõmutamise jne jaoks. Need on valmistatud kõrge puhtusastmega sünteetilisest kvartsist, millel on suurepärane kõrge temperatuuritaluvus, keemiline stabiilsus ja madal soojuspaisumistegur, mis võimaldab neil kiipe stabiilselt kanda ka karmides protsessikeskkondades, tagades protsessi järjepidevuse ja toote saagise.
Kohaldatavad seadmed: Ühildub igat tüüpi horisontaalsete/vertikaalsete difusioonahjude (horisontaalsete/vertikaalsete difusioonahjude), LPCVD-süsteemide ja kiirkuumutusseadmetega (RTP).
Kvaliteedi tagamine
Range kvaliteedikontroll: 100% heeliumi massispektromeetria lekke tuvastamine (lekkekiirus <1×10⁻⁹ mbar·L/s). Iga partii kohta väljastatakse materjali puhtuse aruanne (ICP-MS test).
Sertifitseerimisstandardid: Kooskõlas SEMI F47 spetsifikatsioonidega, läbi ISO 9001:2015 kvaliteedijuhtimissüsteemi sertifitseerimise.
Kasutusiga: keskmine eluiga normaalsetes tingimustes on üle 2 aasta (sõltuvalt protsessi sagedusest ja temperatuuritingimustest).
Miks valida meie kvartspaat?
Kohandatud teenused: Kohandatud suurus ja konstruktsioon vastavalt seadme mudelile (TEL, Kokusai, ASM jne) ja protsessi nõuetele.
Kiire reageerimine: Standardne tarneaeg on 3 nädalat, kiireloomuliste tellimuste puhul saab tähtaega lühendada 10 tööpäevani.
Globaalne teenindusvõrk: pakume tehnilist nõu, paigaldusjuhiseid ja müügijärgset hooldustuge. Materjalide spetsifikatsioonid.
tehnilised nõuded
Projekti spetsifikatsioon
Materjali süntees Sulatatud kvarts
Puhtus ≥99.99% SiO₂
Vahvli suuruste ühilduvus 8", 12" (saab kohandada 6" või 18" suuruseks)
Töötemperatuur ≤1200°C (pidev) / 1300°C (tipp)
Soojuspaisumistegur (CTE) 0.55 × 10⁻⁶/°C (20–1000 °C)
Pinna karedus (Ra) ≤0.2 μm
Standardmahutavus 25/50/100 tabletti
Sobivad protsessigaasid O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl jne
| Mehaaniline omadus | Tihedus (g/cm³3) | 2.2 |
| Mohsi kõvadus | 6-7 | |
| Survetugevus (MPa) | 1100 | |
| Tõmbetugevus (N/mm2) | 50 | |
| Paindetugevus (N/mm2) | 65 | |
| Väändetugevus (N/mm2) | 30 | |
| Youngi moodul (MPa) | 7.2x104 | |
| Poissoni suhe | 0.16 | |
| Termilised omadused | Soojuspaisumistegur (20–320 ℃, k-1) | 5.5x10-7 |
| Soojusjuhtivus (20 ℃, W·m-1k-1) | 1.4 | |
| Erisoojus (20 ℃, J·kg-1k-1) | 670 | |
| Pehmenemistemperatuur (℃) | 1700 | |
| Lõõmutamispunkt (℃) | 1180 | |
| Pingepunkt (℃) | 1080 | |
| Elektriline vara | Elektriline takistus (Ω·m) | 1x1016(20 ℃) |
| Dielektriline konstant (10 GHz) | 3.74 | |
| Dielektriline kaotus (10 GHz) | 0.0002 | |
| Läbivoolutugevus (V·m-1) | 3.7x107 |
Rakendused
Kõrgtemperatuuriline oksüdatsioon/difusioon: räni legeerimine (fosfori, boori difusioon), väravaoksiidi kasv.
Õhukese kile sadestamine: LPCVD polükristalliline räni, räninitriidi (Si₃N₄) sadestamine.
Lõõmutamisprotsess: ioonimplantatsiooni järgne lõõmutamine (RTA), metalli legeerimine.
Kolmanda põlvkonna pooljuht: ränikarbiidi (SiC), galliumnitriidi (GaN) epitaksiaprotsess.
konkurentsieelise
1. Materjali omadused
Ülikõrge puhtusastmega kvarts (>99.99% SiO₂): väldib metalliioonidega (Na+, K+, Fe³+ jne) saastumist ja vastab edasijõudnute protsesside puhtusnõuetele (<5nm sõlmed).
Kõrge temperatuurikindlus: pidev töötemperatuur 1200 °C, hetkeline temperatuurikindlus 1300 °C, deformatsiooni- või kristalliseerumisoht puudub.
Keemiline inerts: Talub protsessigaase nagu HCl, H₂, O₂, SiH₄ ja happelist/aluselist keskkonda. Pikaajalisel kasutamisel ei ole korrosiooni tekitav.
2. Täppisdisain
Optimeeri struktuuri:
Pesade vahekauguse täpsus on ±0.05 mm, mis tagab täpse kiibi positsioneerimise (8/12 tolli) ja hoiab ära kriimustused või nihkumise.
Termilöögikindel disain, kohandub kiire tõusu ja langusega (kuumutamiskiirus ≤20°C/min).
Vähene osakeste moodustumine: pind on ülitäpselt poleeritud (Ra ≤0.2 μm), et vähendada osakeste kinnitumist ja mahakukkumist.
3. Mitmekesine konfiguratsioon
Mahutavus valikuline: Toetab 25 tükki, 50 tükki, 100 tükki ja muid standardseid spetsifikatsioone, saab kohandada ka mittestandardse pesa numbri järgi.
Tüübi kohandamine: avatud paat, suletud paat või spetsiaalne paaditüüp (näiteks paadi põhja ümbersuunamiskanali disain).
KKK
K1: Kas saate pakkuda mittestandardset suurust või eridisaini?
A1: Semixlab toetab kohandatud teenuseid, sh suuruse reguleerimist, temperatuuri ülempiiri (materjali uuendamine on vajalik) või liidese tüüpi. Täpsemate nõuete saamiseks võtke ühendust Semixlabi tehnilise meeskonnaga.
K2: Kui pikk on tarneaeg?
A2: Standardtoodete tarneaeg on 4-6 nädalat ja eritellimusel valmistatud toodete projekteerimis- ja kontrollimisaeg on 2-3 nädalat.
K3: Kas pakute müügijärgset tehnilist tuge?
A3: Jah, pakume elukestvat tehnilist konsultatsiooni ja hädaolukordadele reageerimise teenuseid. Paigaldus- või kasutusprobleemide korral saab tugimeeskonnaga igal ajal ühendust võtta e-posti või telefoni teel.
K4: Kas toode vastab pooljuhtide tööstuse standarditele?
A4: Jah, tootmisprotsess vastab SEMI standarditele ja on sertifitseeritud ISO 9001 kvaliteedijuhtimissüsteemiga. Iga partii õhutihedust, temperatuurikindlust ja puhtust kontrollitakse enne tehasest lahkumist.
