Kvartsist vahvliga paadikandja

Semixlabi kvartsist paaditugi on suure jõudlusega kandevahend, mis on loodud pooljuhtide, fotogalvaanika, LED-i ja täppiselektroonika tööstusele. See on valmistatud kõrge puhtusastmega sünteetilisest kvartsmaterjalist. Kõrgtemperatuuriliste protsesside põhitarvikutena on kvartsist paaditugedest saanud ideaalsed kandjad vahvlite, ränivahvlite, klaasaluste ja muude täppiskomponentide jaoks difusiooni-, lõõmutus-, oksüdeerimis-, CVD- (keemilise aurustamise-sadestamise) ja muudes protsessides tänu oma suurepärasele termilisele stabiilsusele, keemilisele inertsusele ja ülipikale kasutuseale, aidates klientidel saavutada tõhusaid ja stabiilseid tootmisprotsesse.

Rakendusstsenaariumid või seadmed: 

Pooljuhtide difusioon, lõõmutamine, oksüdeerimine ja CVD (keemiline aurustamine-sadestamine) protsess.

Ettevõtte tugevus

Semixlab Technology Co., Ltd-l on 2 teadus- ja arenduskeskust, 2 tootmisbaasi, 12 tootmisliini, üle 150 töötaja ning teadus- ja arendustegevusse tehtud investeeringud moodustavad üle 30%. Meie tootepaigutust kasutatakse peamiselt LED-ide, integraallülituste, kolmanda põlvkonna pooljuhtide, fotogalvaanika ja muudes tööstusharudes. Semixlabil on tugevad teadus- ja arendustegevuse, tootmise ning integreeritud testimise ja kontrollimise võimalused. Samal ajal täiustame pidevalt oma tehnoloogiat ja seadmeid, investeerides kümneid miljoneid aastas.

Kohandatud teenused

Erinevate vajaduste rahuldamiseks pakume paindlikke kohandamisteenuseid ja toetame järgmisi parameetrite kohandamisi:

Suuruse spetsifikatsioonid: Kohandage erinevatele aluspindadele, näiteks 8 tolli ja 12 tolli, või kohandage erikujulisi konstruktsioone vastavalt kliendi joonistele.

Pinnatöötlus: valikuline liivapritsimine, katmine (näiteks ränikarbiidist katmine) ja muud protsessid, et parandada rakendatavust konkreetsetes olukordades.

Lisatarvikute integreerimine: Saab sobitada kvartsist sammaste, deflektorite ja muude komponentidega, et moodustada terviklik kandesüsteem.

Kvaliteedi tagamise süsteem

Tooraine testimine: imporditud kõrge puhtusastmega kvartsliiv, analüüsitud ICP-MS-i (induktiivselt sidestatud plasma massispektromeetria) abil.

Protsessi juhtimine: CNC täppistöötlus + automatiseeritud testimine, võtme mõõtmete tolerants ≤±0.05 mm.

Puhas pakend: 100. klassi ülipuhas keskkonnapakend transpordi ajal saastumise vältimiseks.

Tüüpilised rakendusstsenaariumid

Pooljuhtide tootmine: kasutatakse vahvlite kõrgel temperatuuril lõõmutamiseks, oksüdeerimiseks ja õhukese kile sadestamiseks difusioonahjudes ja vertikaalsetes ahjudes.

Fotogalvaanika tööstus: PERC ja TOPCon elementide kandmine ja edastamine PECVD-s, fosfori difusioon ja muud protsessid.

LED-epitaksia: safiirpindade täpne positsioneerimine ja kõrgel temperatuuril epitaksiaalne kasv MOCVD-seadmetes.

Uurimisvaldkond: Materjalide paagutamine ja katsetamine laborikõrgtemperatuurilistes ahjudes ja vaakumkeskkondades.

1. Suurepärane kõrge temperatuuritaluvus

Kvartsist paaditugi talub pikka aega kõrgeid temperatuure üle 1200 ℃, omades äärmiselt madalat soojuspaisumistegur (umbes 5.5 × 10⁻⁷/℃). See säilitab struktuuri stabiilsuse kiire jahutamise ja kuumutamise tingimustes, vältides termilisest pingest tingitud pragunemist või deformatsiooni ning tagades protsessi korduvuse.

2. Ülikõrge puhtusaste ja keemiline inerts

Valmistatud 99.99% või enamast kõrge puhtusastmega kvartsliivast, sademeteta ja reostuseta, takistab tõhusalt metalliioonide või tahkete osakeste lisandite saastumist vahvli pinnale kõrgel temperatuuril, eriti sobiv edasijõudnutele protsessidele, millel on ranged puhtusnõuded (näiteks kiibi tootmine alla 7 nm).

3. Täppiskonstruktsioonide projekteerimine

Paaditoe pind on poleeritud suure täpsusega (karedus Ra≤0.2 μm), varustatud patenteeritud pilustruktuuriga, mis suudab stabiilselt kanda erineva suurusega substraate (näiteks 8/12-tollised vahvlid), tagades ühtlase kuumutamise ja gaasiringluse ning parandades protsessi ühtlust.

4. Ülipikk kasutusiga

Võrreldes traditsiooniliste grafiidi- või keraamiliste kandjatega on kvartsmaterjalidel tugev korrosioonikindlus, madal kadumismäär happelises/aluselises keskkonnas ja pidev kasutustsükkel võib ulatuda 12–24 kuuni, vähendades oluliselt klientide üldkulusid.