Grafiidist kütteelemendid

Grafiidist kütteelemendid on täppistöödeldud kõrge puhtusastmega isostaatilisest grafiidist (puhtus ≥99.95%) ning on loodud töötama äärmiselt kõrge temperatuuriga keskkondades (kuni 3000 °C) ja nõudlikes protsessitingimustes. Tänu suurepärasele kuumakindlusele, madalale soojuspaisumistegurile ja stabiilsele takistusele kasutatakse neid elemente laialdaselt südamike pooljuhtide tootmisprotsessides, näiteks monokristallide kasvuahjudes, CVD-seadmetes, epitaksiaalse sadestamise ja kõrgtemperatuurse lõõmutamise puhul. Need sobivad ka tipptasemel rakendusteks, näiteks teadusliku uurimistöö vaakumahjudeks ja kosmosematerjalide termoväljadeks.

Kuidas kasutatda:

Grafiidist kütteelemendid on loodud kõrge temperatuuri ja karmide keskkondade jaoks ning neid kasutatakse laialdaselt vaakumahjudes, monokristallide kasvusüsteemides ja pooljuhtide tootmises. Neid kasutatakse peamiselt CVD-sadestamises, epitaksiaalses kasvus ja kõrgtemperatuuril kuumutamisel pooljuhtide protsessides. Samuti toimivad need erakordselt hästi termoväljasüsteemides monokristallide räni kasvatamiseks ja safiirkristallide ettevalmistamiseks fotogalvaanika tööstuses.

Teenused, mida saab pakkuda:

kliendirakenduse stsenaariumide analüüs, materjalide sobitamine, tehniliste probleemide lahendamine.

Firmast:

Semixlabil on 2 laboratooriumi, ekspertide meeskond, kellel on 20-aastane materjalikogemus, teadus- ja arendustegevuse ning tootmise, testimise ja kontrollimise võimalused.

Tehnilised parameetrid

Peamised rakendusväljad

Ökoloogilise ahela kontrollimise kinnitus

Semixlabi grafiitkütteelementide ökoloogilise ahela kontrollimine hõlmab toorainest kuni tootmiseni, on läbinud rahvusvahelise standardi sertifikaadi ning sellel on mitmeid patenteeritud tehnoloogiaid, et tagada selle töökindlus ja jätkusuutlikkus pooljuhtide ja uute energiaallikate valdkonnas.

Täpsemate tehniliste kirjelduste, tehniliste dokumentide või näidistestide korralduse saamiseks võtke ühendust meie tehnilise toe meeskonnaga, et uurida, kuidas Semixlab saab teie protsesside tõhusust parandada.

Semixlabi grafiitkütteelementide põhilised eelised

Suurepärane kõrge temperatuuritaluvus

Grafiitkütteelementides kasutatakse kõrge puhtusastmega isostaatilist grafiiti, mis tagab pikaajalise stabiilse töö äärmuslikes kõrgetes temperatuurides. Grafiit on kõrgetel temperatuuridel pehmenemis- ja deformatsioonikindel ning välistab aurustumise ja saastumise ohu, pikendades oluliselt selle kasutusiga. Need elemendid sobivad eriti hästi kõrge temperatuuriga protsessideks, mis nõuavad vaakumi või inertgaasi kaitset, näiteks ränikarbiidi kristallide kasvatamine ja kõrgel temperatuuril paagutamine.

Ühtlane ja stabiilne termilise välja jaotus

Meie grafiidist kütteelemendid saavutavad ahjus temperatuuri ühtluse ≤±5°C, tagades materjali ühtlase kuumenemise. See omadus on ülioluline selliste protsesside puhul nagu räni monokristalli kasvatamine ja pooljuhtide epitaksiaalne sadestamine, vähendades tõhusalt võredefekte ja parandades saagist.

Kõrge puhtusaste ja madal saasteainesisaldus

Tooraine tuhasisaldust kontrollitakse rangelt ja kõrge temperatuuriga keskkonnas ei satu peaaegu üldse lisandeid, mis väldib vahvlite või termovälja komponentide saastumist. See sobib eriti hästi pooljuhtide tootmiseks (näiteks vahvlite CVD-protsessid) ja kõrge puhtusastmega materjalide kuumtöötluseks, tagades protsessikambri puhtuse.

Kiire reageerimine ja energiasääst

Grafiidi kõrge soojusjuhtivus koos optimeeritud konstruktsiooniga suurendab kütteelemendi kuumenemiskiirust ja lühendab protsessitsükleid. Lisaks vastab selle elektriline takistus täpselt toiteallikale, mille tulemuseks on 15–30% energiasääst võrreldes traditsiooniliste metallküttekehadega, vähendades pikaajalisi tegevuskulusid.