0200-06508 Keraamiline kilbi ülaosa 300mm

Täiustatud pooljuhtide plasmatöötlussüsteemides mängivad kambrikaitse komponendid kriitilist rolli protsessi stabiilsuse, saastumise kontrolli ja seadmete eluea säilitamisel. 0200-06508 keraamiline kilbikaas 300 mm on täppiskonstruktsiooniga keraamiline kambrikomponent, mis on loodud pooljuhtide tootmises suure jõudlusega plasmakeskkondade jaoks.

Semixlabis pakume kõrge puhtusastmega pooljuhtkeraamilisi komponente, mis on konstrueeritud nõudlike PECVD, plasma söövituse ja sadestamise rakenduste jaoks, aidates tehastel parandada kambri töökindlust ja kiipide protsessi järjepidevust.

Toote tutvustus

Keraamiline kaitsekate on kaitsev keraamiline komponent, mis paigaldatakse pooljuhtide protsessikambrite ülemisse ossa, tavaliselt plasma genereerimise ja gaasijaotuse tsoonide lähedale.

Selle peamine ülesanne on kaitsta kambri korpust ja sisemisi metallkonstruktsioone otsese plasma kokkupuute, keemilise korrosiooni ja sadestumise eest pooljuhtide tootmisprotsesside ajal.

0200-06508 keraamiline kilbikate 300 mm on loodud täiustatud 300 mm vahvlite töötlemissüsteemide jaoks, kus plasma stabiilsus, vähene osakeste teke ja saastumise kontroll on olulised.

● Keraamilise kilbikatuse peamised funktsioonid

● Kaitske kambri pindu plasmaerosiooni eest

● Vähendage osakeste saastumist kambris

● Säilitage stabiilne raadiosageduslik ja plasmakeskkond

● Parandage kambri puhtust ja protsessi korduvust

● Pikendage seadmete hooldusintervalle ja komponentide eluiga

Kuna pooljuhtseadiste struktuurid jätkuvalt kahanevad, on kambrikaitse komponendid, näiteks keraamilised kilbid, muutunud saagikuse parandamise ja protsessi stabiilsuse seisukohalt üha olulisemaks.

Tüüpilised rollid pooljuhtsüsteemides

Keraamilist kilbipealset AMAT 0200-06508 kasutatakse tavaliselt Applied Materialsi (AMAT) plasmatöötlusseadmetes 300 mm kiipide valmistamiseks.

Ülemise kambri piirkonda paigaldatud keraamiline komponent toimib kriitilise plasma poole suunatud kaitseosana suure tihedusega plasmatöötluskeskkondades.

Peamised rollid hõlmavad järgmist:

1. Plasma varjestus

Keraamiline kilp isoleerib kambri struktuuri energilise plasmapommitamise eest, aidates vältida:

● kambriseina erosioon

● metalliline saastumine

● pinnakahjustus

2. Osakeste vähendamine

Täiustatud pooljuhtide tootmine nõuab äärmiselt väikese osakeste sisaldusega keskkonda.

Keraamiline pealispind aitab minimeerida:

● materjali pritsimine

● ketendus

● plasma poolt tekitatud praht

3. RF ja plasma stabiilsus

Tänu oma stabiilsetele dielektrilistele omadustele aitab keraamiline kilp kaasa:

● stabiilne plasmatihedus

● ühtlane raadiosageduslik käitumine

● parem protsessi ühtlus

4. Kambri eluea pikendamine

Kaitses kriitilisi kambristruktuure otsese plasmarünnaku eest, aitab keraamiline kilp vähendada kambri kulumist ja hoolduse sagedust, parandades seadmete tööaega ja töö efektiivsust.

Kokkuvõtteks võib öelda, et 0200-06508 keraamiline kilbikaas 300mm on kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist keraamiline kambrikaitsekomponent, mis on loodud plasma stabiilsuse parandamiseks, saastumise vähendamiseks ja protsesside töökindluse suurendamiseks täiustatud pooljuhtide tootmissüsteemides.

Miks valida Semixlab?

Semixlab on spetsialiseerunud kõrgjõudlusega pooljuhtkeraamilistele komponentidele plasmatöötluseks ja täiustatud kiipide tootmiskeskkondadeks.

Me varustame:

● Kõrge puhtusastmega keraamilised kambrikomponendid

● Täppispooljuhtide varuosad

● Plasmakindlad keraamilised lahendused

● Usaldusväärne tugi pooljuhtide OEM- ja fab-rakendustele

Meie tooted on konstrueeritud vastama kaasaegsete pooljuhtide tootmisprotsesside rangetele nõuetele. Loodame siiralt, et meist saab teie pikaajaline partner Hiinas.