EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
300 mm allikaadapteri keraamiline isolaator
AMAT 0200-07442 300 mm allika adapteri keraamiline isolaator on ülitäpne OEM-komponent, mis on loodud täiustatud pooljuhtide õhukeste kilede töötlemisseadmete jaoks. See on valmistatud ülipuhtusest Al₂O₃-st (alumiiniumoksiidist) ja pakub suurepärast elektriisolatsiooni kõrgsageduslike raadiosageduslike häirete korral, säilitades samal ajal plasma stabiilsuse ja mehaanilise terviklikkuse. See keraamiline isolaator toimib struktuurse ja dielektrilise sillana raadiosagedusliku toitesüsteemi ja ülemise elektroodi või dušipea komplekti vahel, tagades ühtlase plasma tekkimise 300 mm vahvlitel. Tänu suurepärasele termilisele stabiilsusele, keemilisele vastupidavusele ja madalale osakeste tekkele sobib see ideaalselt PECVD, PVD ja söövitusplatvormidele. Tere tulemast teie päringule.
Kirjeldus
AMAT 300 mm allikaadapteri keraamiline isolaator on Semixlabi toodetud täiustatud pooljuhtide õhukese kile töötlemisseadmete kriitiline komponent. Spetsiaalselt 300 mm vahvliplatvormidele loodud keraamiline isolaator toimib väga usaldusväärse liidesena raadiosageduslike toitesüsteemide ja protsessikambrites olevate allikakomponentide vahel.
Sellistes süsteemides nagu plasma abil aktiveeritud keemiline sadestamine (PECVD), füüsikaline sadestamine (PVD) ja söövitusplatvormid mängib see komponent olulist rolli elektrilise isolatsiooni, plasma stabiilsuse ja mehaanilise terviklikkuse säilitamisel. Mittekuluva, kuid jõudluse seisukohalt kriitilise tähtsusega osana mõjutab see otseselt protsessi järjepidevust, saagikust ja seadmete tööaega.
Materjalivalik
Substraadimaterjaliks valiti kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiid (Al₂O₃) tänu selle tõestatud suurepärasele jõudlusele plasmaintensiivsetes pooljuhtide keskkondades. Alumiiniumoksiidi keraamika pakub optimaalset tasakaalu elektriliste, termiliste ja keemiliste omaduste vahel, tagades pikaajalise stabiilse töö.
Materjali peamiste eeliste hulka kuuluvad:
● Suur dielektriline tugevus: Tagab tõhusa isolatsiooni kõrgsageduslike raadiosagedusväljade all, ennetades lekkeid ja kaarlahendusi.
● Suurepärane plasmakindlus: Säilitab struktuuri terviklikkuse ioonpommitamise ja reaktiivsete gaasidega kokkupuute korral.
● Madal saastumisrisk: Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiid minimeerib osakeste teket, vastates rangetele puhasruumi standarditele.
● Termiline stabiilsus: Talub korduvaid termilisi tsükleid ilma deformatsiooni või jõudluse halvenemiseta.
Võrreldes teiste keraamiliste materjalidega, nagu alumiiniumnitriid (AlN) või ränikarbiid (SiC), on alumiiniumoksiid (Al₂O₃) kulutõhus ja tööstuses tõestatud lahendus, mida kasutatakse laialdaselt sellistes rakendustes nagu isolaatorid, rõngad ja puksid pooljuhtide OEM-platvormidele.
Toote struktuur ja funktsionaalne disain
Keraamiline isolaator AMAT 0200-07442 on loodud allikaadapterina, mis integreerib struktuurilised ja elektrilised funktsioonid ühte täppiskomponenti.
Selle põhifunktsioonid hõlmavad järgmist:
Elektriline isolatsioon (põhifunktsioon)
See isolaator isoleerib kõrgepinge raadiosagedusliku toiteallika komponendid maandatud kambristruktuurist, tagades plasmasüsteemi ohutu ja stabiilse töö.
Plasma keskkonna stabiilsus
Säilitades järjepideva dielektrilise liidese, aitab see komponent luua ühtlase elektrivälja jaotuse, mis on kriitilise tähtsusega ühtlase plasma tiheduse ja kile ühtluse saavutamiseks.
Mehaaniline tugi ja joondamine
Adapter pakub ülemise elektroodi või pihustipea komplektile konstruktsioonituge, tagades kriitiliste tolerantside – näiteks tasapinna, kontsentrilisuse ja joondamise täpsuse – säilimise 300 mm vahvli töötlemise ajal.
Termilise stressi juhtimine
See komponent, mis on loodud taluma protsessitemperatuure ja mehaanilisi pingeid, aitab leevendada pingete kogunemist, tagades pikaajalise töökindluse.
See multifunktsionaalne disain peegeldab pooljuhtide riistvarasektori laiemat suundumust integreerida elektrilisi, mehaanilisi ja termilisi funktsioone täiustatud keraamilistesse komponentidesse.
meie teenused
Semixlabi tootepood
